氣體種類對真空測量的影響
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2025-02-28 閱讀
1、氣體種類對測量讀數的影響。 對于彈性元件真空計和電容薄膜真空計等直接測量真空計，其測量結果為氣體和蒸汽的全壓力，且與氣體種類無關。而對于熱傳導真空計和電離真空計等間接測量真空計，其測量結果與氣體種類及組分有關，因此對其讀數需要考慮加以修正。 如果被測氣體是氮氣、惰性氣體或較為純凈的空氣，那還比較簡單，因為普通真空計出廠前都是以此為基準標定的，實際測量的讀數值就是其真實壓力值。但在許多情況下，被測氣體往往是空氣、特殊的工藝放氣、水蒸氣、油蒸氣等多種氣體和蒸汽的不同組合，從而會影響相對真空計的測量結果。因此，通常引入相對靈敏度的概念，針對不同氣體加以修正。
2、氣體種類對真空規的影響。 被測氣體中的各種蒸氣，還會對真空規造成影響，其中尤以氧氣、水蒸氣、油蒸氣等組分對真空計的影響嚴重。采用電阻真空計測量時，氧氣和水蒸氣會氧化規管熱絲，改變熱絲的表面狀態；油蒸氣附在規管的熱絲和管壁上，會改變表面性能，因此都將引起規管零點漂移和靈敏度的改變，導致讀數不準。采用高壓力熱陰極電離真空計測量時，氧氣和水蒸氣會明顯損耗規管的熱陰極；油蒸氣在高溫陰極表面或電子轟擊下分解生成的碳氫化合物，會污染電極和規管壁，使規管靈敏度和特性發生明顯的變化。
因此在粗低真空區，測量氧氣、水蒸氣或油蒸氣的壓力，通常采用電容式薄膜真空計。
