【康沃真空網】1 中國半導體設備行業產業鏈環節上市公司整體情況
中國半導體設備產業鏈上游為零部件及系統供應環節，零部件包括軸承、傳感器、石英、邊緣環、射頻發生器、機械臂等，核心子系統包括氣液流量控制系統、真空系統、制程診斷系統、光學系統、電源及氣體反應、熱管理系統、集成系統等；中游為各類半導體設備，主要包括光刻機、刻蝕設備、薄膜沉積設備、真空鍍膜設備、清洗設備、離子注入設備、涂膠顯影設備、CMP設備、熱處理設備等；下游應用于半導體制造。代表性企業有北方華創、盛美上海、中微公司等。
2 中國半導體設備行業上市公司區域分布情況
中國半導體設備企業主要集中在沿海經濟發達地區。長三角地區如上海、江蘇等地，憑借深厚的工業基礎和豐富的人才資源，在光刻、刻蝕等核心設備研發制造以及產業鏈上游零部件供應方面表現突出，集聚了中微公司等龍頭企業；珠三角地區以深圳為核心，在半導體設備的下游應用以及部分設備的組裝制造環節優勢明顯，且在創新應用場景開拓上獨具活力；京津冀地區則依托北京的科研實力，在半導體設備的基礎研究和關鍵技術突破方面成果顯著，北方華創在此區域占據重要地位。不同地區在半導體產業鏈環節上有明顯的分工傾向，且區域間產業協同逐步加強，推動產業集群效應不斷凸顯。
3 中國半導體設備行業上市公司經營情況對比分析
多數公司實現營收增長，16家企業中有13家在2024年前三季度營業收入保持正增長，顯示出行業整體發展態勢積極。從毛利率來看，行業毛利率在30%以上，企業產品盈利能力強。北方華創作為綜合性半導體設備巨頭，營收規模遙遙領先，2024年前三季度營收超200億元，毛利率穩定在40%左右，依靠豐富的產品線和強大的技術研發能力，在國內市場份額持續擴大。中微公司專注于刻蝕設備和MOCVD設備，營收增速迅猛，毛利率高達45%以上，在刻蝕設備領域技術達到國際先進水平，在全球市場與國際巨頭競爭中不斷搶占份額。盛美上海以清洗設備為核心，營收穩步增長，毛利率在35%-40%區間，其創新的單片清洗技術打破國外壟斷，在國內清洗設備市場占據主導地位。
4 中國半導體設備行業上市公司業務布局情況
（一）真空鍍膜設備
在真空鍍膜設備領域，上市公司主要有光韻達等。光韻達在激光精密制造服務基礎上，拓展真空鍍膜設備業務，其真空鍍膜設備主要應用于3C產品、汽車零部件等領域。公司憑借在激光技術領域積累的光學、機械、自動化控制等技術優勢，實現真空鍍膜設備的快速研發與迭代。從市場份額看，在國內中低端真空鍍膜設備市場有一定占比，但在高端市場，面對國外老牌企業如德國萊寶、日本愛發科等競爭，份額相對較小。
（二）清洗設備
盛美上海是清洗設備領域的佼佼者。其自主研發的單片兆聲波清洗技術、空間交變相位移清洗技術等處于國際領先水平。產品廣泛應用于集成電路制造、先進封裝、化合物半導體等多個領域，國內市場份額超過60%，在全球市場份額也逐年提升。公司持續加大研發投入，不斷拓展清洗設備的應用場景和技術邊界，與國內各大晶圓制造企業建立長期穩定合作關系，引領國內清洗設備行業發展。
（三）離子注入設備
萬業企業旗下的凱世通專注于離子注入設備研發制造。在集成電路、光伏、顯示等領域均有布局。其推出的低能大束流離子注入機、高能離子注入機等產品，打破國外技術封鎖，逐步實現國產替代。在國內集成電路離子注入設備市場份額不斷增長，已接近30%。但與國際離子注入設備巨頭美國應用材料相比，在設備的精度、穩定性以及產品種類豐富度上仍有提升空間。
（四）涂膠顯影設備
芯源微在涂膠顯影設備領域深耕多年。其產品涵蓋光刻膠涂覆、顯影、烘烤等工藝環節，主要應用于集成電路前道制造、先進封裝等領域。在國內前道涂膠顯影設備市場占據一定份額，尤其在中低端市場具備競爭優勢。公司不斷加強與國內科研機構合作，提升技術創新能力，研發適用于更高制程的涂膠顯影設備，逐步縮小與國際先進水平差距，如日本東京電子在該領域處于全球領先地位，芯源微正努力追趕。
（五）CMP設備
華海清科在CMP設備領域一枝獨秀。其自主研發的12英寸CMP設備已實現量產銷售，廣泛應用于集成電路制造、先進封裝等環節。憑借高平整度、低缺陷率等技術優勢，在國內CMP設備市場份額超過80%，打破國外壟斷。公司持續優化設備性能，推出針對不同材料和工藝的CMP解決方案，積極拓展海外市場，在國際市場上與美國應用材料、日本荏原等企業展開競爭，逐步提升國際影響力。
（六）熱處理設備
北方華創在熱處理設備方面具有深厚技術積累。其生產的擴散爐、退火爐等熱處理設備廣泛應用于半導體制造的各個環節。公司依托綜合性研發平臺，實現熱處理設備與其他半導體設備的協同研發與配套，產品具備高精度溫度控制、良好工藝均勻性等特點。在國內熱處理設備市場占據主導地位，市場份額超過50%。在國際市場，與美國Mattson、德國Centrotherm等企業競爭，通過不斷提升產品性能和服務質量，逐步擴大海外市場份額。
從業務占比數據來看，大部分公司在其專注的產業鏈環節業務占比較高，如華亞智能、聯動科技、金海通等公司的相關業務占比均超過90%。從重點區域布局看，多數公司的業務布局既包括境內市場，也涉及境外市場，體現了行業的國際化特征。從業務布局看，中國半導體設備行業上市公司在多個領域都有布局和發展，在一定程度上實現了進口設備的替代。
