【康沃真空網】真空爐設計的原理即在熱處理開始時抽出爐內環(huán)境空氣，同時還能夠引入工藝氣體以達到特定的低于大氣壓的壓力，因此真空爐能夠很好的控制整個工藝過程中通爐內氣體的數量、類型和質量。
用惰性氣體進行氣淬是一種廣泛應用的控制淬火速率和結果的技術。此外，隨著熱區(qū)內溫度的升高，添加特定的工藝氣體可以帶來更多的好處，從而改善各種熱處理應用的結果。
真空熱處理工藝的第一步是去除爐內的空氣。加熱的金屬部件特別容易與空氣中常見的元素（如水蒸氣或氧氣）發(fā)生反應，因此去除空氣可以顯著減少不必要的有害反應。但是，通入特定的工藝氣也可以產生作為工藝一部分所需的反應或條件。
在升溫過程中回充工藝氣體能夠帶來很多好處。有些工藝可能需要引入極少量的氣體（0.01Torr到10Torr），如氫氣以幫助去除氧化物，或添加碳等元素以進行表面滲碳硬化，或添加其他惰性氣體以限制Cr等元素在高溫工藝中的揮發(fā)。
其他工藝可能需要引入足夠的工藝氣體（1個大氣壓或更高），以便通過操作內部風扇來實現對流加熱，從而均勻加熱具有復雜幾何形狀或大橫截面的零件。
爐子的設計包括兩個分壓氣體入口，由質量流量計進行調節(jié)。
在這里，我們看到一個典型的由質量流量計、壓力調節(jié)器、截止閥和分壓手動節(jié)流閥組成的分壓系統(tǒng)，這些部件能夠精確地控制充入爐內的氣體體積。
分壓工藝：在接近真空的壓力下保持反應控制
分壓工藝是指在爐子達到真空狀態(tài)后，向爐內充入非常小流量的工藝氣體，從而在溫度升高時產生或控制反應。工藝氣體可以是氬氣或氮氣等惰性氣體，也可以是氫氣或乙炔等活性氣體。
分壓熱處理工藝可用作爐內吹掃，即通過添加惰性氣體的方式將爐內大部分殘余氣體原子和分子排出。當惰性氣體（如氬氣）在升溫過程中加入爐內，可帶動氫氣、氧氣和氮氣等較小的原子或分子的運動，迫使它們在系統(tǒng)第二次抽真空時迅速排至爐外。
惰性氣體還可以減緩Cr等元素的揮發(fā)，因為Cr等元素在高溫和極低壓力容易從工件表面析出。在充入惰性氣體后，即使很低的惰性氣體的分壓，也有助于防止含Cr材料的元素析出。
有些材質的鋼特別容易氧化，甚至可能在熱處理之前就已經在其表面形成了氧化物。因此，有時需要在特定溫度下將氫氣*引入熱處理過程，促使某些金屬氧化物與通入的氫氣發(fā)生反應，從而減輕工件的氧化情況。（*雖然從安全角度來看，在將氫氣引入任何系統(tǒng)時要非常小心是常識，但通常不建議在涉及含有鈦或某些銅合金的部件的熱處理過程中使用氫氣。）
在低壓滲碳等工藝中，在低壓下添加乙炔等工藝氣體有助于提供滿足特定要求的表面滲碳硬化解決方案。這對于具有非常復雜幾何形狀的零件特別有效：例如粉末金屬制造的零部件。
除了這些工藝之外，分壓氣體系統(tǒng)還可以用于避免零件和工裝之間的擴散粘結，并提供一個臨時冷卻步驟，從而提高真空冷卻的效率。
對流加熱工藝
對流工藝是將惰性氣體充入真空狀態(tài)的爐內，直到容器內的壓力等于或高于一個大氣壓。
將爐子抽至接近真空狀態(tài)，然后再用另一種氣體回充到與抽真空之前相同的壓力，這看似沒有太大意義，但通過控制回充氣體中存在的元素，可以確保所處理的零件不與環(huán)境空氣中可能存在的有害元素（如水或氧氣）發(fā)生反應。
真空爐主要通過熱輻射進行熱傳遞。在真空環(huán)境中，由于沒有環(huán)境空氣，熱量不會通過對流的方式進行熱傳遞。因此，操作人員能夠在整個熱傳遞的各個關鍵步驟中對工藝溫度和均勻性進行有效控制。但是，由于熱輻射沿線性方向傳遞能量，因此復雜曲面和深孔等幾何形狀可能會嚴重影響熱處理過程的一致性。
在爐內充入一個大氣壓或更高壓力的惰性氣體，可以更好地控制復雜部件的加熱均勻性。且在較低溫度時，對流加熱比輻射加熱的效率更高。
內部對流風扇產生的氣流可以確保熱量有效的傳遞到整個復雜部件的所有幾何形狀中。氣流可以為深孔或尖角部分提供更一致的熱量傳遞，以確保整個部件都能均勻升溫并更快地達到需要的保溫溫度。從而在確保溫度均勻性的同時有效減少工藝時間，加快復雜零件的生產周期。
結論
雖然真空爐主要的功能在于其氣淬的能力，但在升溫和保溫過程中加入工藝氣體為設備增加了更多的功能和更大的使用范圍。分壓及對流加熱使得真空爐對爐內工作環(huán)境的控制更加精確，讓真空爐成為生產穩(wěn)定，清潔工件的理想工具。
